厂商及型号
Helios NanoLab 600i
性能参数
电子束最佳分辨率为0.9 nm；离子束最佳分辨率为2.5 nm，可加工的最大样品台尺寸为4英寸；样品台在 X、Y 方向的行程为150 豪米，控制精度优于1.0 微米;在Z 方向的行程为10 豪米，可绕Z 轴旋转任意角度 (360 度); 倾角范围为‐10至+60 度; 水平漂移小于10nm/min。
服务功能
用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作，是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具，也可用于制备TEM样品和集成电路的失效分析，如可用于制作下列器件与结构：微纳电子器件，光电子器件，生物传感器与DNA探测器，微纳机电系统，超导电子学器件，磁电子学器件，低维材料输运性质测量的纳米电极，光子晶体等。
