聚焦离子束系统

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厂商及型号

Helios NanoLab 600i

性能参数

电子束最佳分辨率为0.9 nm;离子束最佳分辨率为2.5 nm,可加工的最大样品台尺寸为4英寸;样品台在 X、Y 方向的行程为150 豪米,控制精度优于1.0 微米;在Z 方向的行程为10 豪米,可绕Z 轴旋转任意角度 (360 度); 倾角范围为‐10至+60 度; 水平漂移小于10nm/min。

服务功能

用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作,是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具,也可用于制备TEM样品和集成电路的失效分析,如可用于制作下列器件与结构:微纳电子器件,光电子器件,生物传感器与DNA探测器,微纳机电系统,超导电子学器件,磁电子学器件,低维材料输运性质测量的纳米电极,光子晶体等。