厂商及型号
HEX-01
性能参数
设备采用热压和紫外光固化的图形成型方法，可进行微米级至纳米级的图形复制
服务功能
1、基片最大尺寸：直径6英寸；2、热压室真空度：≤1nbar；3、热压时基片\模具加热温度：最大320℃；4、最大压力：20KN；5、热压室高度：20mm；6、UV波长：365nm；7、UV最大功率：1.5mw/cm2.；8、UV均匀度：5%；9、UV照射直径：150mm；10、采用UV时最大加热温度：100℃；11、采用UV时最大压力：10KN
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