纳米压印仪

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厂商及型号

HEX-01

性能参数

设备采用热压和紫外光固化的图形成型方法,可进行微米级至纳米级的图形复制

服务功能

1、基片最大尺寸:直径6英寸;2、热压室真空度:≤1nbar;3、热压时基片\模具加热温度:最大320℃;4、最大压力:20KN;5、热压室高度:20mm;6、UV波长:365nm;7、UV最大功率:1.5mw/cm2.;8、UV均匀度:5%;9、UV照射直径:150mm;10、采用UV时最大加热温度:100℃;11、采用UV时最大压力:10KN