激光晶圆划片机

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厂商及型号

苏州德龙激光有限公司 //UITRASCRABER

性能参数

1.标配4英寸平台; 2.X-Y平台140mm行程,0.1μm分辨率; 3.Z轴调焦平台,1μm分辨率; 4.θ轴旋转精度0.0001°,±7°

服务功能

可切割铜基板、铝基板、陶瓷、硅片等各种材料