等离子体化学气相淀积

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厂商及型号

system100

性能参数

1.PECVD淀积:二氧化硅,氮化硅,类金刚石等;2.均匀性误差:≤ ± 4% ( 4英寸内 );3.4英寸,兼容3英寸,2英寸及小碎片;4.工作温度:100~600℃;控温精度:≤ ±1℃

服务功能

工艺加工