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等离子体化学气相淀积

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厂商及型号

system100

性能参数

1.PECVD淀积：二氧化硅，氮化硅，类金刚石等；2.均匀性误差：≤ ± 4% ( 4英寸内 )；3.4英寸，兼容3英寸，2英寸及小碎片；4.工作温度：100～600℃；控温精度：≤ ±1℃

服务功能

工艺加工
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