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厂商及型号
沈阳新蓝天真空技术有限公司//PECVD300
性能参数
⑥恒流控制精度：1％±1LSB；
服务功能
用于生长硅基薄膜，包括本征硅薄膜，N型、P型掺杂硅薄膜及氮化硅薄膜
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