等离子体辅助热丝化学气相沉积系统

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厂商及型号

沈阳聚智真空设备有限公司//JZPERS450III

性能参数

1) 腔室本底真空: 10-6 Pa。2) 等离子体沉积衬底加热温度最高500oC,热丝温度最高可到2100oC。

服务功能

薄膜生长