厂商及型号
KS-C200-4SPIN
性能参数
1.涂胶均匀性：（膜厚: 3500?）(测量49点) a) 同一片晶片 3δ≦30? b) 晶片之间 3δ≦30?c) 3 days 3δ≦30?2.显影均匀性：(一共测量6片晶圆，每片测量33点)a) 同一晶片 3δ≦25nmb) 晶片之间 3δ≦25nm
c) 3天 3δ≦25nm3.热板均匀性：50.0 - 120.0℃ R≤1.0120.1 - 150.0℃ R≤1.5℃150.1 - 200.0℃ R≤2.0℃200.1 - 300.0℃ R≤3.0℃300.1 - 350.0℃ R≤5.0℃
服务功能
用于光刻胶的涂覆以及显影
