多功能匀胶烘胶机

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厂商及型号

CEE 200CBX

性能参数

转动速度:0-12,000rpm;旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空载);转速调节精度<0.2rpm,重复性

服务功能

主要用于聚合物或光刻胶薄膜的制备,可通过程序,实现对旋涂层的厚度以及均匀性的控制,达到所需涂布效果,是进行器件所需微纳结构制备的关键设备。