电子束曝光机

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厂商及型号

NB5

性能参数

1.适用于8以及以下英寸晶片和7~4寸掩模板的加工;2.最小分辨率:20nm及以下;3.电子束直径:4 nm (100 kV)/ 7 nm (50 kV);4.对准精度:25nm以下

服务功能

用于定义CMOS工艺90nm以下的图形