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厂商及型号
日本电子JBX-6300FS
性能参数
——
服务功能
采用电子束直接曝光的方法，制作纳米图形结构(最小线宽为8nm)。用于各种微纳器件与纳米人工结构的制作，是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具，也可用于直写高精度的光刻模板。如可用于制作下列器件与结构：微纳电子器件，光电子器件，生物传感器，微纳机电系统，超导电子学器件，磁电子学器件，低维材料输运性质测量的纳米电极，光子晶体与左手材料等
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