厂商及型号
德国 Vistec-Raith公司Vistec EBPG5000plus ES
性能参数
图形发生器频率：25 MHz；束斑位置稳定性：< 50 nm/h；束流稳定性：<±0.5%/h；主场稳定性：< 40 nm (for 400 μm main field within 0.5 h)；场畸变：<±15 nm(for 400 μm main field)；分辨率：< 8 nm line width (@100kV)；场拼接、套刻、直写精度：±15nm；
服务功能
各种光学光刻模板的制备; 各种碎片、50 mm及100 mm基片微纳米图案的直写，最小线宽<10nm
