慢正电子束流装置

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厂商及型号

研制

性能参数

正电子能量在接近0eV-30keV可调;束斑10mm;流强流强105/s

服务功能

低能慢正电子束流系统,主要用于薄膜材料中空位型缺陷的表征,包括空位类型、空位浓度、缺陷尺寸等参数的分析。