电子束直写系统

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厂商及型号

Raith EBPG500s

性能参数

电压100KV/50KV,最细线宽8nm,套刻精度优于±20nm,场拼接精度优于20nm;最大可曝光区域150mm*150mm

服务功能

用于微纳器件的图形化工艺以及掩模版的制作