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厂商及型号
JBX6300FS
性能参数
主要应用于20-100纳米结构图形电子束直写光刻；曝光芯片尺寸：碎片及2-6英寸
服务功能
纳米尺度集成电路研制及纳米加工技术服务（主要用于联合开展的科研课题研究工作）
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