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设备 / 实验室常用设备

等离子清洗系统

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厂商及型号

PVA TePla/Ion40

性能参数

射频电源 13.56 MHz，600W；工艺压力：~0.16-2.66 mbar；抽真空时间：~1分钟；质量流量控制计 最多至6路气体；

服务功能

通过对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的，能够对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料进行表面清理。
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