分子束外延设备

浏览次数

46

收藏次数

0

接洽次数

0

厂商及型号

V80H

性能参数

待机状态下:生长室真空1.0E-8 Torr 中室真空 5E-9 Torr 预处理室真空:2E-6 Pa ,生长的2DEG材料电子迁移率 室温 4500~5000cm(2)V(-1)S(-1)

服务功能

三五族化合物半导体材料的外延生长