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厂商及型号
Torus PM
性能参数
真空度 1X10-5Pa，溅射气压 0.5Pa，溅射速率 0.5-10 A/s，溅射均匀区 100X500 mm
服务功能
可制备最大为100X500 mm的Ni/Ti多层膜，用于中子光学器件的研制
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