磁控溅射仪

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厂商及型号

Torus PM

性能参数

真空度 1X10-5Pa,溅射气压 0.5Pa,溅射速率 0.5-10 A/s,溅射均匀区 100X500 mm

服务功能

可制备最大为100X500 mm的Ni/Ti多层膜,用于中子光学器件的研制