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厂商及型号
MBE32P型
性能参数
操作真空：1子，以超高压加热煤气管道（可扩展到1 2）；-气体注射模式：喷水式饮水口和直接利用；样本大小：多达4个的标准，可选1 2in-衬底加热器：高达500℃，选用较高的气温；可编程逻辑器件系统
服务功能
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