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设备 / 实验室常用设备

激光刻号机

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厂商及型号

kh

性能参数

工作电压( AC power) 208v,50Hz, 光点深度(Dot depth), 2.6 ? ±0.4 ?；X轴误差：±125um；Y轴误差：±125um

服务功能

用于对8英寸晶圆进行激光刻号标识，作业方式为单片作业。
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