离子束溅射与刻蚀系统

浏览次数

55

收藏次数

0

接洽次数

0

厂商及型号

非标

性能参数

束流电压:200-1000V;束流直径:4cm;极限真空:1x10-5Pa;

服务功能

离子束溅射HfO2,Hf,ZrO2,TiO2材料薄膜制备。