离子束溅射与刻蚀系统

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厂商及型号

非标

性能参数

束流电压:200-1000V;束流直径:4cm;极限真空:1x10-5Pa;

服务功能

离子束溅射HfO2,Hf,ZrO2,TiO2材料薄膜制备。