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设备 / 实验室常用设备

溅射台（四室A）

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厂商及型号

DP650

性能参数

最大承片量：1片；可溅射金属种类：W、Au、TaN、Ti、Ni、Ge等金属；溅射厚度：100？～3μm；本底真空度：1e-6mb

服务功能

可以提供4英寸以下及不规则衬底金属溅射。
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