溅射台(四室A)

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厂商及型号

DP650

性能参数

最大承片量:1片;可溅射金属种类:W、Au、TaN、Ti、Ni、Ge等金属;溅射厚度:100?~3μm;本底真空度:1e-6mb

服务功能

可以提供4英寸以下及不规则衬底金属溅射。