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厂商及型号
Corial 200IL
性能参数
可提供2～4英寸以及不规则小面积衬底片刻蚀，
服务功能
电感耦合等离子体刻蚀机。可刻蚀材料种类：Si、GaAs、SiC、InP、SiNX 、SiO2、GaN。
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