ICP刻蚀系统(四室)

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厂商及型号

Corial 200IL

性能参数

可提供2~4英寸以及不规则小面积衬底片刻蚀,

服务功能

电感耦合等离子体刻蚀机。可刻蚀材料种类:Si、GaAs、SiC、InP、SiNX 、SiO2、GaN。