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厂商及型号
URE-2000/A
性能参数
最小光刻精度1um，可对准光刻精度大于2um，小于6寸片以内
服务功能
主要用于紫外接近、接触式光刻制造小规模集成电路、半导体器件、红外器件、微机电系统（MEMS）等
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