紫外光刻机(八室)

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厂商及型号

URE-2000/A

性能参数

最小光刻精度1um,可对准光刻精度大于2um,小于6寸片以内

服务功能

主要用于紫外接近、接触式光刻制造小规模集成电路、半导体器件、红外器件、微机电系统(MEMS)等