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厂商及型号
SI500
性能参数
刻蚀均匀性：±3%
服务功能
衬底尺寸：4英寸及以下；工艺气体：CF4, CHF3, Ar, BCl, Cl2, C2H2, SiCl4 可以做GaN，SiC，GaAs，Si等材料刻蚀工艺
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