厂商及型号
英国爱德华公司AUTO BOC-500
性能参数
1、采用抽速为555l/s的分子泵，60分钟内真空度可达到1×10-4Pa，最终压力可达 5×10-5Pa；2、为提高真空度，设置有液氮冷阱；3、不锈钢高真空沉积腔体；4、提供3KW电子束枪；5、基片旋转以提高均匀度，旋转速度20RPM-60RPM；6、基片采用灯加热，最高加热温度250℃；7、镀膜均匀度5%
服务功能
电子束蒸发仪可蒸发高纯与难熔材料，包括高熔点金属与非金属材料；四个可旋转坩埚，可制备多层薄膜；主要用于制备各种光学薄膜、介质薄膜与电极薄膜材料等。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层
