电子束蒸发镀膜仪(Boc-500)

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厂商及型号

英国爱德华公司AUTO BOC-500

性能参数

1、采用抽速为555l/s的分子泵,60分钟内真空度可达到1×10-4Pa,最终压力可达 5×10-5Pa;2、为提高真空度,设置有液氮冷阱;3、不锈钢高真空沉积腔体;4、提供3KW电子束枪;5、基片旋转以提高均匀度,旋转速度20RPM-60RPM;6、基片采用灯加热,最高加热温度250℃;7、镀膜均匀度5%

服务功能

电子束蒸发仪可蒸发高纯与难熔材料,包括高熔点金属与非金属材料;四个可旋转坩埚,可制备多层薄膜;主要用于制备各种光学薄膜、介质薄膜与电极薄膜材料等。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极,以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层