单面对准紫外光刻机(Mjb-4)

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厂商及型号

德国SUSS公司MJB4

性能参数

(1) 350WHg灯光源,灯光均匀度小于3%;(2) 曝光最小尺寸为0.7μ;(3) 套刻精度1μ;(4) 单面曝光;(5) 掩模版尺寸为3-5英寸;(6) 基片尺寸最大为4英寸,并可曝光不规则碎片。

服务功能

MJB4型号对准接触式紫外光刻机适用于所有标准化的光刻应用。该设备稳定性、重复性高,可加工微细尺寸图形。单面曝光