厂商及型号
德国SUSS公司MA6
性能参数
（1）曝光波长：UV400；（2）曝光面积：100 mm（4英寸）；（3）分辨率：≤0.8 mm；（4）正面套刻精度：≤ ±0.5 mm；（5）背面套刻精度：≤ ±0.5 mm；（6）光强均匀度：100mm直径内≤±5％；（7）曝光模式可支持硬接触、软接触、接近和真空4种模式；（8）曝光时间范围可调：0-999.9s
服务功能
MA6型号双面对准接触式紫外光刻机适用于所有标准化的光刻应用。具备顶部和底部对准系统。双面曝光
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性能参数
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