双面对准接触式紫外光刻机(Ma-6)

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厂商及型号

德国SUSS公司MA6

性能参数

(1)曝光波长:UV400;(2)曝光面积:100 mm(4英寸);(3)分辨率:≤0.8 mm;(4)正面套刻精度:≤ ±0.5 mm;(5)背面套刻精度:≤ ±0.5 mm;(6)光强均匀度:100mm直径内≤±5%;(7)曝光模式可支持硬接触、软接触、接近和真空4种模式;(8)曝光时间范围可调:0-999.9s

服务功能

MA6型号双面对准接触式紫外光刻机适用于所有标准化的光刻应用。具备顶部和底部对准系统。双面曝光