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厂商及型号
DSE200
性能参数
ICP等离子体源（13.56MHz，3000W） LF低频功率源（430KMHz，200W） 5路气体：C4F8,He,SF6,O2,Ar,N2)
服务功能
用于Bosch工艺实现硅基材料的深刻蚀
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