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厂商及型号
Sentech SI 500D
性能参数
ICP等离子源（13.56MHz，1200W） 8路气体：N2O，SiH4，NH3，CF4，O2，Ar，N2 基底温度可到350℃
服务功能
可沉积氧化硅、氮化硅、碳化硅、非晶硅等材料能够实现对沉积厚度的精确控制
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