电子束蒸发镀膜机

浏览次数

73

收藏次数

0

接洽次数

0

厂商及型号

Denton Vacuum Explore 14

性能参数

极限真空: ≤ 8×10-8Torr 基片尺寸: ≤直径6英寸 镀膜均匀性:优于±5%(直径6英寸基片)

服务功能

用于制备半导体器件的金属薄膜以及非金属介电质