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设备 / 实验室常用设备

电子束蒸发镀膜设备

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厂商及型号

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 //EB700

性能参数

1.一次工艺可以蒸发四种不同金属材料；Ti/Al/Ti、Ni/Au、CrPtAu等，Au最 后可做到3um； 2.蒸镀温度在室温到100℃之间可调； 3.Lift-off工艺一次可以蒸镀108片2"圆片； 4.Step-coverage工艺一次可以蒸镀67片2"圆片； 5.工艺的均匀性和重复性±5％.

服务功能

金属电极制备
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