电子束蒸发镀膜设备

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厂商及型号

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 //EB700

性能参数

1.一次工艺可以蒸发四种不同金属材料;Ti/Al/Ti、Ni/Au、CrPtAu等,Au最 后可做到3um; 2.蒸镀温度在室温到100℃之间可调; 3.Lift-off工艺一次可以蒸镀108片2"圆片; 4.Step-coverage工艺一次可以蒸镀67片2"圆片; 5.工艺的均匀性和重复性±5%.

服务功能

金属电极制备