厂商及型号
沈阳科晶自动化设备有限公司 //VTC-600-3HD
性能参数
极限真空度：< ?E-6mbar（配合本公司设备使用可达到?E-5mbar）
4、工作温度：室温-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）
5、靶枪数量：3个
6、靶枪冷却方式：水冷
7、靶材尺寸：Φ2″，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）
8、直流溅射功率：500W（可选）
9、射频溅射功率：300W/500W（可选）
10、载样台：Φ140mm
11、载样台转速：1-20rpm内可调
12、保护气体：Ar、N2等惰性气体
13、进气气路：质量流量计控制2路进气，每个流量为100 SCCM
服务功能
可用于制备单层或多层厚度可控的ZnO和ITO薄膜
