多材料共溅射设备

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厂商及型号

科特莱思科//PVD75

性能参数

可实现三个靶位材料的共溅射;支持多层复合膜自动溅射;最大可溅射样品尺寸6英寸;本底真空≤5×10-8 Torr;样品台带有800℃加热功能;不均匀性≦±5%。

服务功能

金属、介质多层膜的溅射