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厂商及型号
SUSS//SUSS Microtech AS8
性能参数
可进行芯片上三维结构的沟槽、台阶的光刻胶均匀涂布。 样片尺寸：6寸（向下兼容），转速10-1500 rpm；温度控制范围：30°~80 ℃，控温精度：+/- 3°C； 溶剂流量可编程控制范围：0-100ml/min。
服务功能
三维立体结构的光刻胶喷涂
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