光刻胶喷涂设备

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厂商及型号

SUSS//SUSS Microtech AS8

性能参数

可进行芯片上三维结构的沟槽、台阶的光刻胶均匀涂布。 样片尺寸:6寸(向下兼容),转速10-1500 rpm;温度控制范围:30°~80 ℃,控温精度:+/- 3°C; 溶剂流量可编程控制范围:0-100ml/min。

服务功能

三维立体结构的光刻胶喷涂