激光退火工艺机

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厂商及型号

成都莱普科技有限公司//定制

性能参数

样片尺寸:8英寸和6英寸(向下兼容)? 退火片内非均匀性<3%; ? 退火片间非均匀性<3%; ? 距退火表面10微米处温度小于350℃。? 脉冲宽度:10~100nS; ? 工作频率:1~400KHZ; ? 重复定位精度:±2um; ? 分辨率:±1um; 激光脉冲的宽度范围 10~100ns

服务功能

金属欧姆接触快速退火,浅结注入激活