厂商及型号
成都莱普科技有限公司//定制
性能参数
样片尺寸:8英寸和6英寸(向下兼容)? 退火片内非均匀性<3%;
? 退火片间非均匀性<3%;
? 距退火表面10微米处温度小于350℃。? 脉冲宽度:10~100nS;
? 工作频率:1~400KHZ; ? 重复定位精度:±2um;
? 分辨率:±1um; 激光脉冲的宽度范围 10~100ns
服务功能
金属欧姆接触快速退火,浅结注入激活
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性能参数
服务功能