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激光退火工艺机

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厂商及型号

成都莱普科技有限公司//定制

性能参数

样片尺寸：8英寸和6英寸（向下兼容）? 退火片内非均匀性<3%； ? 退火片间非均匀性<3%； ? 距退火表面10微米处温度小于350℃。? 脉冲宽度：10~100nS； ? 工作频率：1~400KHZ； ? 重复定位精度：±2um； ? 分辨率：±1um； 激光脉冲的宽度范围 10~100ns

服务功能

金属欧姆接触快速退火，浅结注入激活
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