PECVD衬底清洗机

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厂商及型号

苏州聚晶科技有限公司//JK-CDQXJ-300

性能参数

⑩壳温检测范围:室温~150℃;精度:1%±1℃;

服务功能

采用标准RCA清洗工艺对硅基底进行清洗