台阶仪

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厂商及型号

Bruker公司 //Dektak XT Dimension Edge

性能参数

Z方向测量高度:1mm; Z方向分辨率:0.1nm; X、Y行程:150mm; 台阶高度重复性:5A;三维扫描功能; 具备测量薄膜应力功能.

服务功能

台阶高度测试;样片应力测试。