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Bruker公司 //Dektak XT Dimension Edge
性能参数
Z方向测量高度：1mm； Z方向分辨率：0.1nm； X、Y行程：150mm； 台阶高度重复性：5A;三维扫描功能; 具备测量薄膜应力功能.
服务功能
台阶高度测试；样片应力测试。
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