可变角光谱椭偏仪

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厂商及型号

V-VASE

性能参数

光谱范围:193-1700 nm带真空吸附的垂直样品台,样品最大直径200mm;自动变角,范围20°to 90°;用于小光斑测量 ,光斑直径200 μm

服务功能

测试薄膜折射率、厚度