高强度金属三维MEMS制造技术研究-中国科学院微电子研究所

浏览次数

4

收藏次数

0

接洽次数

0

项目简介

高强度金属三维MEMS制造技术是面向微米尺度、复杂结构金属微型器件的一种制造技术。目前使用精密机加工的方法很难制造出嵌套、镂空、高可靠性的复杂3维金属器件,尺寸更难达到微米量级,本项目提出一种高精度、高强度MEMS金属制造技术,以此来解决复杂动力机械结构(如微型高动力飞行器、医疗机器人机械手、微型散热器)等高精度、高强度动力机械结构制造中的基础核心技术,为复杂金属微结构的制造打下坚实的技术储备。项目在理论研发调研和加工工艺制备的基础上,采用金属牺牲层工艺制备的技术路线能够获得多层金属微结构件的一体化结构。这种技术路线可实现齿轮轴承与基底的制备,解决微齿轮批量化问题、装配精度问题。

应用领域

基于本项目的高强度金属三维MEMS制造技术开展微型减速器的制备。微型减速器是MEMS微执行器中具有代表性的器件之一,可广泛应用在微型手术机器人、微型飞行器等领域,不仅在当代军工和民用中具有极其广阔的应用远景,而且是未来微型机械化发展中必不或缺的一环。

相关图片